什么是特征X射线谱？简述其产生机制。

特征X射线谱是由原子在受到高能电子激发时产生的一系列特征X射线所组成的谱线。其产生机制是：当高能电子穿过物质时，会与原子的内层电子相互作用，使得内层电子被激发或被电离，导致原子的电子结构发生变化。当内层电子补位时，会释放出能量，这些能量以X射线的形式发出，即特征X射线。每个元素的内层电子能级结构都是独特的，因此产生的特征X射线也是独特的，可以用来确定物质的组成成分。