半导体制造数字化转型与智能化升级项目群

该项目群的战略目标是实现半导体制造过程的数字化转型和智能化升级。通过建立器件建模和工艺建模，实现对半导体器件和制造工艺的精确描述和模拟。通过自动化流程管理和晶圆自动化制造执行，实现半导体制造过程的自动化和高效化。通过大数据平台，实现对制造数据的集中管理、分析和挖掘，提高制造过程的可控性和优化效果。通过智能设备管理，实现对设备状态的实时监测和维护，提高设备的稳定性和可靠性。综合而言，该项目群的战略目标是提高半导体制造过程的质量、效率和智能化水平，推动半导体行业的发展和竞争力提升。