PDMS 薄膜掩膜制作指南：详细步骤和注意事项

PDMS（聚二甲基硅氧烷）薄膜掩膜是一种广泛应用于微流控芯片、生物芯片等领域的材料。其制作步骤如下：

1. 准备PDMS溶液：将PDMS液体橡胶和交联剂按照一定比例混合，彻底搅拌均匀，形成PDMS溶液。

2. 去除气泡：将PDMS溶液放置在真空室中，进行真空脱泡处理，以去除其中的气泡。

3. 涂覆PDMS溶液：将PDMS溶液均匀涂覆在平整的基底上，可以使用刮刀或涂布机进行涂覆。

4. 压平：使用刮刀或压平装置将涂覆的PDMS溶液压平，以确保薄膜厚度均匀。

5. 烘干：将涂覆的PDMS溶液放置在烘箱中，进行烘干处理，通常在60-80℃下烘干，以使PDMS溶液完全固化。

6. 剥离薄膜：将固化的PDMS薄膜从基底上剥离下来，可以使用刮刀或剥离装置进行剥离。

7. 制作掩膜：根据需要，可以使用激光切割或其他加工方法将PDMS薄膜切割成所需形状的掩膜。

以上是PDMS薄膜掩膜的基本制造步骤，具体操作过程中需要注意溶液配比、涂覆均匀度和烘干时间等参数，以确保制得的PDMS薄膜质量符合要求。