MEMS芯片可靠性试验设备及型号 - 详细介绍与选择指南

主要用于MEMS芯片可靠性试验的设备及型号有以下几种：\n\n1. 器件加速老化试验设备：常用的型号有Espec EY系列、Thermo Fisher Scientific Q5000Z系列等。\n2. 温湿度老化试验设备：常用的型号有Espec PL系列、Thermo Fisher Scientific FT系列等。\n3. 振动台：常用的型号有Unholtz-Dickie T2000系列、Ling Vibration Test System V series等。\n4. 冷热冲击试验设备：常用的型号有Espec TSD系列、Thermo Fisher Scientific TS系列等。\n5. 真空腔体：常用的型号有Espec VAC系列、Thermo Fisher Scientific A系列等。\n6. 电子显微镜（SEM）：常用的型号有FEI Quanta系列、JEOL JSM系列等。\n\n以上仅列举了部分常用设备及型号，实际选择设备时还需根据具体试验需求和预算进行综合考虑。