SIN膜制备方法详解：CVD、PVD、LPCVD和溶胶-凝胶法

\u5236\u5907SIN\u819c\u7684\u65b9\u6cd5\u6709\u4ee5\u4e0b\u51e0\u79cd\uff1a\n\n1. \u5316\u5b66\u6c14\u76f8\u6c89\u79fb\uff08CVD\uff09\uff1a\u5728\u9ad8\u6e29\u4e0b\uff0c\u5c06\u78c1\u6e90\u548c\u6c22\u6e90\u5f15\u5165\u53cd\u5e94\u5ba4\u4e2d\u8fdb\u884c\u5316\u5b66\u53cd\u5e94\uff0c\u751f\u6210\u6c22\u5316\u78c1\u8584\u819c\u3002\n\n2. \u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79fb\uff08PVD\uff09\uff1a\u4f7f\u7528\u7535\u5b50\u65cb\u5149\u84b8\u53d1\u3001\u78c1\u63a7\u6295\u5c04\u7b49\u65b9\u6cd5\uff0c\u5c06\u78c1\u548c\u6c22\u6e90\u84b8\u53d1\u6216\u6295\u5c04\u5230\u57fa\u5e95\u4e0a\uff0c\u5f62\u6210\u6c22\u5316\u78c1\u8584\u819c\u3002\n\n3. \u4f4e\u538b\u5316\u5b66\u6c14\u76f8\u6c89\u79fb\uff08LPCVD\uff09\uff1a\u5728\u8f83\u4f4e\u6e29\u5ea6\u4e0b\uff0c\u901a\u8fc7\u6c22\u548c\u78c1\u6e90\u7684\u53cd\u5e94\uff0c\u5728\u57fa\u5e95\u4e0a\u5236\u5907\u6c22\u5316\u78c1\u8584\u819c\u3002\n\n4. \u6eb6\u8d28\u2013\u51dd\u8d28\u6cd5\uff1a\u901a\u8fc7\u5c06\u78c1\u6e90\u548c\u6c22\u6e90\u6eb6\u89e3\u4e8e\u6eb6\u5242\u4e2d\uff0c\u5236\u5907\u6210\u6eb6\u8d28\u3002\u7136\u540e\uff0c\u901a\u8fc7\u52a0\u70ed\u548c\u51dd\u8d28\u5904\u7406\uff0c\u5c06\u6eb6\u8d28\u8f6c\u53d8\u4e3a\u51dd\u8d28\u3002\u6700\u540e\uff0c\u901a\u8fc7\u70ed\u5904\u7406\uff0c\u5f97\u5230\u6c22\u5316\u78c1\u819c\u3002\n\n\u8fd9\u4e9b\u65b9\u6cd5\u4e2d\uff0c\u5316\u5b66\u6c14\u76f8\u6c89\u79fb\u548c\u7269\u7406\u6c14\u76f8\u6c89\u79fb\u662f\u5e38\u7528\u7684\u5236\u5907SIN\u819c\u7684\u65b9\u6cd5\u3002\u5177\u4f53\u9009\u62e9\u54ea\u79cd\u65b9\u6cd5\u53d6\u5949\u4e8e\u9700\u8981\u7684\u8584\u819c\u7279\u6027\u3001\u8bbe\u5907\u6761\u4ef6\u4ee5\u53ca\u5236\u5907\u89c4\u6a21\u7b49\u56e0\u7d20\u3002