器件仿真前的网格结构定义：优化精度与效率

在进行器件仿真前，需要先定义器件的网格结构。通过Silvaco的仿真语句对器件进行网格划分，网格的数量以及网格之间的间距对器件的数值计算尤为重要。本文采用关键位置小网格，非关键位置大网格疏密结合的网格结构，以综合考虑器件仿真精度、器件仿真收敛、仿真耗时。完成网格结构定义后，通过定义区域、掺杂以及电极来赋予网格物理意义，完成器件的结构描述。器件结构可以选择导入由Silvaco TCAD的其他组件（例如Athena以及DevEdit）已经定义好的结构，也可以利用Atlas软件中的命令来生成。在定义好大框架后，针对器件每一块局部进行区域划分定义以及材料种类的指明。随后对非本征半导体区域的掺杂类型以及掺杂浓度进行设置，并将器件的每个电极的位置以及名称设定完成。