器件结构定义与网格划分：兼顾精度、收敛和效率

首先需要定义器件的网格结构，通过Silvaco的仿真语句对器件进行网格划分，网格的数量以及网格之间的间距对器件的数值计算尤为重要。网格间距过大，会导致仿真结果不精确。网格间距过小，则会导致数值运算难以收敛，耗时较长。本文出于对器件仿真精度、器件仿真收敛、仿真耗时的综合考虑，采用关键位置小网格，非关键位置大网格疏密结合的网格结构。完成网格结构定义后，通过定义区域、掺杂以及电极来赋予网格物理意义，完成器件的结构描述。

Atlas软件中的器件结构可以选择导入由Silvaco TCAD的其他组件（例如Athena以及DevEdit）已经定义好的结构，同时也可以利用Atlas软件中的命令来生成。在Atlas软件中，器件结构的定义是从网格的初始化开始的。网格的疏密决定了所求部位数据的精确程度，往往在两个区域的界面处网格较为密集。在决定好了器件结构的大框架之后，便是针对器件每一块局部进行区域划分定义以及材料种类的指明。随后就是对非本征半导体区域的掺杂类型以及掺杂浓度进行设置。最后，将器件的每个电极的位置以及名称设定完成。