Silvaco 器件仿真：优化网格结构以提高精度和效率

首先，需要确定器件的网格结构。利用 Silvaco 的模拟语句对器件进行网格划分，网格数量和网格之间的间距对器件数值计算至关重要。网格间距过大会导致仿真结果不精确，而网格间距过小则会使数值运算难以收敛，且计算时间较长。为了综合考虑器件仿真精度、仿真收敛性和计算时间，本文采用了小网格覆盖关键区域，而在非关键区域使用大网格的网格结构。在完成网格结构定义后，通过定义区域、掺杂和电极等物理参数，对网格进行物理描述，从而实现对器件结构的描述。