探针台操作指南:器件放入与取出步骤
探针台器件操作步骤指南
器件放入步骤:
- 确保探针已抬起以及真空阀已关闭。
- 打开通气阀向样品室内充气,先开启一点然后缓慢开启。
- 气压平衡后拧开气密螺丝取下舱盖。
- 放入样品,放样过程中不可触碰探针。
- 盖好舱盖,拧紧气密螺丝,关闭通气阀。
- 打开抽真空系统。
- 缓慢开启一点真空阀,待抽气声音变小后再缓慢开启真空阀,最后完全开启。
- 下针,先粗调后观察显微镜显示屏细调,注意最后接触样品时,接触上即可,不可过度,有机薄膜和电极都很薄,探针很尖锐容易戳破。然后开始测试。
器件取出步骤:
- 关闭真空阀。
- 抬起探针并收回至样品台范围外。
- 开启一点通气阀,充气声音变小缓慢开启。
- 气压平衡后拧开气密螺丝取下舱盖。
- 小心取出样品,最好两个镊子一起用,取样过程中不可触碰探针。
- 盖好舱盖,拧紧气密螺丝,关闭通气阀。
- 缓慢开启一点真空阀,待抽气声音变小后再缓慢开启真空阀,最后完全开启。
- 抽完真空后关闭真空阀以及抽真空系统。
测试类型:
由于没有具体描述,无法确定是哪种测试。可能是材料表征测试,例如扫描电镜 (SEM) 观察材料表面形貌、能带谱测试、压电测试等。
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