旋转干涉仪定位
旋转干涉仪是一种测量光学元件表面形状和光学参数的仪器。其定位方法主要有以下几种:
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机械定位法:通过机械结构将被测件固定在旋转干涉仪上,并通过机械微调器调整其位置,使其在仪器中心轴上对称。这种方法适用于简单的几何形状的光学元件。
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光学定位法:在旋转干涉仪中心轴上放置一个参考平面,通过调整被测件的位置,使其与参考平面的反射光干涉条纹重合。这种方法适用于较复杂的光学元件。
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自动定位法:采用自动控制系统,通过激光测距和图像处理技术,实现被测件在旋转干涉仪中心轴上的自动定位。这种方法适用于高精度要求的光学元件。
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