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调整蚀刻时间以获得相同高度的沟槽

  • 日期: 2026-05-11
  • 标签: 常规

在一种实施例中,可以调整次要蚀刻过程的时间,以便以某种方式蚀刻有机层10,使得第一沟槽P1具有第一高度(或深度),而第二沟槽P2具有与第一高度相等的第二高度。


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