优化二次蚀刻过程时间,实现沟槽等高蚀刻
在一种实施例中,可以调整二次蚀刻过程时间,以使有机层10以一种方式被蚀刻,从而第一沟槽P1可能具有第一高度(或深度),而第二沟槽P2可能具有与第一高度相等的第二高度。
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在一种实施例中,可以调整二次蚀刻过程时间,以使有机层10以一种方式被蚀刻,从而第一沟槽P1可能具有第一高度(或深度),而第二沟槽P2可能具有与第一高度相等的第二高度。
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