磁控溅射靶材致密度：高就一定好吗？

磁控溅射靶材致密度越高，通常意味着其材料结构更加致密，晶粒更小，因此具有更高的密度和更好的物理性能。高密度的靶材通常具有更高的热导率和更好的耐热性能，因此可以更有效地抵抗高温和高能量的热损伤。此外，高密度的靶材还可以提高磁控溅射过程的效率和稳定性，从而得到更高质量的薄膜。

因此，从磁控溅射过程和薄膜质量的角度来看，致密度越高的靶材通常更好。但是，也需要注意的是，过高的致密度可能会导致靶材的脆性增加，从而降低其加工性和使用寿命。

在选择磁控溅射靶材时，需要根据具体的应用需求来选择合适的致密度。如果需要高热导率和耐热性，则可以选择致密度较高的靶材；如果需要更高的加工性和使用寿命，则可以选择致密度稍低的靶材。