基于计算全息干涉测量的实时高精度倾斜测量系统

为了满足高精度装调系统对倾斜测量的需求，传统的液体电容式倾角仪和三轴陀螺仪测量平台已经无法满足要求。目前，基于倾斜传感器和激光干涉仪的测量方法成为了高精度稳定性高的测量手段。然而，这些方法都存在测量复杂、无法判断平台倾斜方位等问题。例如，液体电容式倾角仪可在低成本下实现0°~ 360°的全范围测量的流体运动测斜仪，但其精度为0.1°；三轴陀螺仪测量平台在三个轴向的角速度，通过积分可得到平台倾斜变化量，精度可达0.01°，但以上两种可确定倾斜方向的测量手段均不满足高精度装调系统的需求。倾斜传感器测量多用光纤倾斜传感器实现倾角的高分辨率动态实时测量，精度高、抗干扰能力强，但是无法判断平台倾斜方位；激光干涉仪可与角反射镜结合测量平台某一轴向的倾斜变化量，测量平台平面度需要使用对角线测量法，测量多组各轴向倾斜量，测量复杂;激光干涉仪也可与坐标测量机集成，测量目标点坐标变化判断倾斜度及方位，但测量系统及数据分析复杂。

为解决这些问题，本文设计了一种基于计算全息干涉测量原理的测量系统，能够实时高精度测量微小倾斜量并判断倾斜方位。