基于MEMS技术的微型压力传感器设计与制造

摘要

随着微电子技术的不断发展，微机电系统（MEMS）技术应用越来越广泛。本文介绍了一种基于MEMS技术的微型压力传感器的设计和制造过程。首先，通过对MEMS技术的研究和分析，确定了压力传感器的结构和工作原理。然后，通过CAD软件进行设计，并采用硅片薄膜技术制造出微型压力传感器。最后，对制造出的微型压力传感器进行了测试，结果表明该传感器具有较高的精度和稳定性。

关键词：MEMS技术；微型压力传感器；硅片薄膜技术；CAD设计；测试

Abstract

With the continuous development of microelectronics technology, micro-electromechanical systems (MEMS) technology is increasingly widely used. This paper introduces the design and manufacture process of a micro pressure sensor based on MEMS technology. Firstly, the structure and working principle of the pressure sensor were determined by studying and analyzing MEMS technology. Then, the micro pressure sensor was designed by CAD software and manufactured by silicon film technology. Finally, the manufactured micro pressure sensor was tested, and the results showed that the sensor had high accuracy and stability.

Keywords: MEMS technology; micro pressure sensor; silicon film technology; CAD design; testing

一、绪论 1.1 研究背景 1.2 研究意义与目的 1.3 研究内容与方法 1.4 论文结构

二、MEMS技术概述 2.1 MEMS技术发展历程 2.2 MEMS技术原理及应用 2.3 MEMS技术在压力传感器中的应用

三、微型压力传感器设计 3.1 微型压力传感器结构设计 3.2 微型压力传感器工作原理 3.3 微型压力传感器CAD设计

四、微型压力传感器制造 4.1 微型压力传感器制造工艺 4.2 微型压力传感器制造流程 4.3 微型压力传感器制造质量控制

五、微型压力传感器测试 5.1 微型压力传感器测试原理 5.2 微型压力传感器测试方法 5.3 微型压力传感器测试结果分析

六、结论与展望 6.1 结论 6.2 展望

参考文献

致谢

附录

注：本论文仅供参考，不得抄袭和剽窃。