热电子冲击电离最小能量及热载流子损伤生成速率评估

其中，ui 是热电子引起冲击电离所必须具备的最小能量，文献报道的值在 1.12 eV 和 3 eV 之间[18]，q 是电子电荷，k 是热电子的平均自由程，与 ui 有关系，按照 k = ui/(1.6 · 106) 计算，其中 k 的单位为米，ui 的单位为电子伏特[18]，Em 是通道中最大的电场，出现在通道的漏极端。由于 Isub 和热载流子损伤界面的生成速率都随着 Ids 和通道电场的变化而变化，因此可以将 Isub 用作衡量器件中热载流子损伤生成速率的指标。