其中k是玻尔兹曼常数,T是绝对温度,l是通道电子迁移率,Le1是电学通道长度,|Q1|是通道反型层电荷密度的大小。由于应力后阈值电压增加,因此在恒定的Vg下,反型电荷密度QI在应力后减少。此外,如前所述,通道载流子迁移率l在应力后降低,因此在固定偏置点下,id在应力后也会降低。

应力对MOSFET器件的影响:阈值电压、电荷密度和迁移率变化

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