由于晶体管偏置电流和通道载流子迁移率下降,跨导gm也会降低。在图7中,以特定工作点和不同应力条件为例,显示了gm随应力时间的归一化变化。在这里,显示出gm的归一化变化也遵循幂律k3t^n3,其中指数n3 = 0.57,k3取决于应力期间的漏极电压。应力导致迁移率降低可能是导致漏电流和跨导降低的主要因素,这也可能是n2和n3接近的原因,因为它们的主要降解机制相同。

晶体管跨导降低分析:应力对迁移率的影响

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