显影不尽故障排查指南：快速解决光刻机问题

最近经常出现显影不尽问题，表现为快板看不到实物，但焦距测试和曝光尺测试都正常。下午甚至在料号'1971'上也出现了这个问题，只出现在GBS面的出光开始位置，第二次出光位置就没有问题。查看操作日志和单片曝光记录发现前一个料号报警，但前一个料号又没有问题，做假板测试也没有问题。

建议先检查一下显影液是否需要更换或者调整浓度，以及显影时间是否充分。另外，也可以检查一下光刻机的光源是否正常，是否需要更换或者清洁。如果以上问题都排除，可以考虑检查一下光刻胶的质量，是否存在变质或者过期等问题。如果还是无法解决问题，建议联系设备厂商或者专业维修人员进行检修。