加工工艺流程如下:

  1. 准备工作:清洗P型硅衬底,去除表面的杂质和污垢。
  2. 光刻工艺:在硅表面涂覆光刻胶,并利用掩模对光刻胶进行曝光,形成PN结的图案。
  3. 显影工艺:利用显影液去除未曝光的光刻胶,保留PN结的图案。
  4. 清洗工艺:清洗光刻胶残留物,保证硅表面的干净。
  5. 掺杂工艺:将硅衬底放入磁掺杂设备中,利用扩散技术向硅中掺入杂质,使P型硅和N型硅形成接触。
  6. 退火工艺:将掺杂后的硅衬底放入退火炉中,加热至高温,使掺杂杂质在硅晶格中扩散均匀,形成PN结。
  7. 电极制作:在PN结的两侧分别制作P型和N型的金属电极,通过电极连接外部电路。
  8. 清洗工艺:清洗掉制作电极过程中产生的杂质和污垢。
  9. 封装工艺:将制作好的PN结芯片进行封装,保护芯片并连接外部引脚。

最终制作完成的PN结如下图所示:

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P型 | | 硅 | PN结 | 衬 | | 底 | | |______________| N

以P型硅为衬底利用所学习的半导体加工工艺加工制作一个PN结请写出加工工艺流程。画图

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