翻译The same set of curves were obtained through 3D numerical simulations performed using the Sentaurus tool in order to determine the density of interface traps from experimental devices In order to es

通过使用Sentaurus工具进行3D数值模拟，得到了相同的曲线集，以确定实验装置中界面陷阱的密度。为了确定其数量级，模拟是基于不同的N0从1×1011 cm−3到5×1013 cm−2进行的，并将结果与实验曲线进行了比较。最能匹配实验的模拟曲线是N0等于5×1011 cm−2的曲线，也显示在图4中。这些结果与[16]，[17]中实验JNTs获得的氮含量相符，这些JNTs是按照相同的过程制造的。