器件仿真技术提升：精度、速度、成本与精度兼顾

本文介绍了器件仿真技术的四个主要目标，包括：

1. 添加器件仿真的物理模型，实现仿真结果与实验值差距小于20%。
2. 优化器件仿真的计算时间，实现大步长计算，缩短50%的计算时间。
3. 减少EN投入，缩短产品和工艺研发时间。
4. 实现光刻仿真模块，仿真的几何结构与实际结构基本复合。

上述项目目标的成熟度目标是达到技术成熟度级别为6-7，即原型系统验证和技术验证阶段。