Micro power system Aiming for the output of electricity heat kinetic or mechanical energy it produces watts to ten watts of power in the size of millimeter-sized to centimeter-sized providing power fo

微型动力系统。该系统旨在输出电力、热能、动能或机械能，在毫米级到厘米级的尺寸内产生10瓦特以下的功率，为微型飞行器提供动力。通过微机电系统加工和组装技术，将传统的微型推进部件与仪器集成，同时集成微传感器和微执行器到微型喷气系统中，以实现改进和扩展功能。

智能保险丝。利用微机电系统技术生产传感器、定时器、开关和控制组件，甚至在硅片上制造集成电子雷管最核心的桥梁，以形成高质量、高可靠性和更安全的固态电子保险丝，为引爆空中武器提供安全可靠的方式。

红外焦平面阵列。利用微机电技术加工的红外焦平面阵列传感器可以帮助战斗机在没有阳光的情况下观察目标或地形。它可以用于图像导引导弹、精密跟踪、夜视、探测等方面。美国利用MEMS技术开发的二维热成像传感器已经开发到4096×4096平面阵列，可以得到清晰的二维图像。

射频MEMS。MEMS技术可以生产射频MEMS，包括射频开关、滤波器、可变电容器、可变电感器、相移器和振荡器。与传统的射频元件相比，射频MEMS具有插入损耗低、线性、宽带、小尺寸等优点。它在微型飞行器、航空电子系统、相控阵雷达、雷达导引器和机载数据链等领域具有广泛的应用前景。利用RF MEMS开发的安全通信开关、可调滤波器电容器和跟踪滤波器已经在美国F-22战斗机天线接口单元跟踪滤波器、RAH-66直升机AIU跟踪滤波器和TRI通用ARC-210（V）军用无线电接收机前置选择器中得到应用。

微型拦截器。美国研发的多重杀伤载体(MKV)是由携带数十个小型杀伤拦截器的助推火箭组成的弹道导弹防御系统。它可以同时摧毁多个目标。MKV中的微型组件，如陀螺仪、加速度计、高系统、传感器和微喷射器需要MEMS技术的支持。

微型导弹。目前国外正在研究利用MEMS技术加工的飞行导弹。导弹的体积和形状与飞蝇相似，可以引爆弹药库、油库，并飞入敌人攻击指挥部