In view of theadvantages of MEMSdeviceswith small sizelight weightlow power consumptionmass productionand compatible withmicro-thruster it can achieveminiaturizationand lightweight of manyconventional

鉴于MEMS设备具有小尺寸、轻重量、低功耗、大规模生产和与微型推进器兼容的优点，它可以在空间应用的某些领域实现许多传统飞机和卫星组件的微型化和轻量化。同时，冗余设计提高了飞行可靠性。这些优点使它在智能小卫星、微型卫星（质量为10~1000千克）、纳米卫星（1~10千克）和皮科卫星（小于1千克）领域有着非常广泛的应用。它们专注于数十个、数百个或数千个纳米级或皮科级相似卫星共同工作。它们可以在空间中组成卫星星座，飞行在编队中，并完成诸如空间硬件建设、导航、侦察、监视和通信等任务。它们还执行反导弹和星际作战任务，如美国NASA和欧洲航天局合作的著名项目“激光干涉空间天线”（LISA）将使用基于MEMS的微型推进器，计划在2019年执行空间任务。

MEMS加速度计、陀螺仪和其他特殊惯性设备在保障宇航员安全和航天器导航系统在轨运行方面发挥了十多年的作用。MEMS振荡器是NASA最新使用的MEMS设备，用于在太空中进行测量。与MEMS振荡器类似，MEMS惯性设备的最大优势是具有良好的抗震性以及小型化、轻量化和低功耗（NASA称为SWAP）。目前，SiTime公司可以生产最高频率为125Hz的MEMS振荡器，体积是普通石英晶体的1/2，并且正在开发将多个MEMS谐振器集成到同一晶片上形成超小型NASA，以实现必要的软件定义无线电RF滤波器组件，可在-100℃~+100℃工作正常适应空间测量任务。此外，还有一些纳米和皮科轨道卫星，例如于2000年发射的轨道皮科卫星自动发射器（OPAL）（13.5千克），其包括两个装备有MEMS RF开关的皮科卫星。一旦OPAL进入轨道，它将一对“皮科型卫星”送入低地球轨道。每颗卫星的质量小于230克，尺寸为10.2厘米×7.6厘米×2.5厘米，通过30厘米长的线（线加了几股细金属丝）相互连接并通过地面雷达跟踪。这对“皮科型卫星”由美国宇航公司开发，旨在观察MEMS设备在受到空间环境影响后的工作情况。当这对低轨道中的“皮肤型卫星”工作了一年后，它们在恢复后仍可以正常工作