The rapid development of MEMS technology has made MEMS accelerometers mature and the application range has been expanded Many kinds of MEMS accelerometers are researched According to the working prin

MEMS技术的快速发展使MEMS加速度计成熟并且应用范围得以扩展。许多种类的MEMS加速度计正在研究中。根据MEMS加速度计的工作原理，它可以分为：压阻、压电、电容、隧道、谐振、电磁、热电偶、光学、电感等。由于其在尺寸、质量、功耗和可靠性方面的突出特点，MEMS传感器被用于军事应用和需要高环境抵抗力的领域。MEMS加速度计正在快速发展并具有良好的应用前景。为了使MEMS加速度计更广泛地被了解，扩展了MEMS加速度计的优点，介绍了MEMS加速度计的研究现状，并分析了加速度计在现实环境中的应用以及MEMS加速度计未来的发展趋势。更多的学者将投资于MEMS加速度计研究，追求高性能、低功耗、高精度、多功能和交互性。未来强大的MEMS加速度计将无处不在。