改写 由于实际半导体工艺过程较为复杂同时每个步骤都会耗费一定的时间以及宝贵的材 料。因此针对新的半导体器件工艺或者结构的研究测试研究者们往往会考虑先选择使用 模拟仿真软件在计算机上进行初步的分析通过实景模拟获得初步现象与结论随后进行 参数的优化以至于减少在最后在实际操作时所走的弯路。这类模拟仿真软件被称为半导 体工艺模拟以及器件模拟工具Technology Computer Aided Desig

由于半导体工艺的复杂性以及时间和材料成本的昂贵性，研究者们通常会优先选择使用模拟仿真软件进行初步分析，以获得初步现象和结论，然后通过参数优化来减少实际操作中的错误。这种模拟仿真软件被称为半导体工艺模拟和器件模拟工具（Technology Computer Aided Design，TCAD）。目前，研究者们通常使用商业TCAD工具，如Silvaco公司的Athena和Atals、Synopsys公司的TSupprem、Medici和Sentaurus，以及已被Synopsys收购的ISE公司的Dios和Dessis。鉴于实验基础和软件性能的考虑，本文的仿真结果是通过使用矽谷科技公司的Atlas软件获得的。