目前,商业TCAD工具被广泛使用,其中包括矽谷科技公司(Silvaco)推出的Athena和Atals,Synopsys公司的TSupprem、Medici和Sentaurus,以及ISE公司的Dios和Dessis,后者已经被Synopsys公司收购。

重写 目前研究 者们常用的商业TCAD工具有矽谷科技公司Silvaco推出的Athena和AtalsSynopsys 公司的TSupprem、Medici和Sentaurus以及已经被Synopsys公司收购的ISE公司的Dios 和Dessis。

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