这篇科技文本的专业术语有哪些：1引言熔石英玻璃作为典型的宽禁带介质材料广泛应用于制造光栅、真空窗口、屏蔽片和透镜等器件。为了实现高精度熔石英玻璃的批量制造国内外普遍采用磨削成形→精密研磨→超精密抛光的工艺流程。其中抛光加工作为光学材料精密超精密制造工序的最后一个步骤对元件的加工质量和表面完整性有着重要作用。传统的化学机械抛光技术通过化学能和机械能的耦合作用获得光洁平整的表面但由于工件在加工过程中受

熔石英玻璃、宽禁带介质材料、光栅、真空窗口、屏蔽片、透镜、磨削成形、精密研磨、超精密抛光、化学机械抛光技术、磁辅助抛光技术、磁流变、磁流体、磁性复合流体、弹塑性变形理论、粗糙度Ra、材料去除率、表面光洁度、端面MCF 抛光、BK7 玻璃、载液盘转速、空间磁感应强度、铁粉体积比例、圆周式抛光机床、铷铁硼、Nd-Fe-B、聚乳酸树脂、抛光轮、抛光间隙、W5-W10碳化硅双面研磨、亚表面裂纹深度。