将器件放入探针台的步骤如下:1.确保探针已抬起且真空阀已关闭。2.打开通气阀,向样品室内充气,先缓慢开启一点,然后再逐渐加大气流。3.气压平衡后,拧开气密螺丝取下舱盖。4.放入样品,放样过程中不可触碰探针。5.盖好舱盖,拧紧气密螺丝并关闭通气阀。6.打开抽真空系统。7.缓慢开启真空阀,待抽气声音减小后再逐渐加大气流,最后完全开启真空阀。8.下针,先粗调,再观察显微镜显示屏进行细调,注意最后接触样品时,接触上即可,不可过度,因为有机薄膜和电极都很薄,探针很尖锐容易戳破。测试完成后或需更换器件时,操作步骤如下:1.关闭真空阀。2.抬起探针并收回至样品台范围外。3.开启通气阀,先缓慢开启一点,充气声音变小后再逐渐加大气流。4.气压平衡后,拧开气密螺丝取下舱盖。5.小心取出样品,最好使用两个镊子一起操作,取样过程中不可触碰探针。6.盖好舱盖,拧紧气密螺丝并关闭通气阀。7.缓慢开启真空阀,待抽气声音减小后再逐渐加大气流,最后完全开启真空阀。8.抽完真空后关闭真空阀和抽真空系统。

对以下文字降重字数不变;首先往探针台中放入器件步骤如下:1确保探针已抬起以及真 空阀已关闭。2打开通气阀向样品室内充气先开启一点然后缓慢开启。3气压平衡后拧开气密螺丝取下舱盖。4放入样品放样过程中不可触碰探针。5盖好舱盖拧紧气密螺丝关闭通气阀。6打开抽真空系统。7缓慢开启一点真空阀待抽气声音变小后再缓慢开启真空阀最后完全开启。8下针先粗调后观察显微镜显示屏细调注意最后接触样品时接触上即可不可过度有

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