Au做光敏场效应管的蒸镀电极的过程

光敏场效应管的蒸镀电极的过程一般包括以下步骤：

1. 准备基片：选择合适的基片并进行清洗，以确保表面干净无杂质。

2. 选择蒸镀材料：根据需要的性能选择合适的蒸镀材料，一般选择具有高反射率和导电性能的金属材料，如铝、银等。

3. 蒸镀设备：选择合适的蒸镀设备，一般采用真空蒸镀设备。

4. 蒸镀过程：将蒸镀材料放入蒸镀器中，加热蒸镀材料，使其蒸发并在基片表面形成薄膜。同时，加入适量的惰性气体，如氩气，以保持真空度。

5. 控制膜厚：根据需要的性能，控制蒸镀时间和温度，以控制薄膜的厚度和性能。

6. 完成蒸镀：蒸镀完成后，关闭蒸镀器，将基片取出并进行检查，以确保膜层均匀、无裂纹和气泡等缺陷。

7. 后续处理：根据需要的性能，进行后续处理，如退火、氧化等。