下列关于MEMS说法正确的是AMEMS技术一般包含体微机械加工和表面微机械加工。BMEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。CMEMS技术是研究设计、制造具有特定功能的微型装置包括微传感器微执行器和微系统等。DMEMS器件可以使用非硅材料进行加工。
ABCD都正确。
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