• 日期: 2025-12-28 01:07:44
  • 标签: 军事

NF3的生产流程如下：

  1. 原料准备：将氟化铵和硝酸混合，生成硝酸铵。

  2. 反应：硝酸铵与氢氟酸在反应器中反应，生成NF3和水。

  3. 分离：通过冷凝和蒸发，将NF3从水和其他杂质中分离。

  4. 纯化：将分离得到的NF3通过高温和高压的气相色谱纯化，去除残余杂质。

  5. 储存：将纯化的NF3储存在高压钢瓶中，以便供应给半导体行业等使用者。


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