1最后这几天经常有显影不尽都是快板看不到实物做了焦距没试没有问题用新曝光尺测试也是有10格之前也做了能量测试也没问题下午有个料号1971也出现显影不尽只出现在gbs面的出光开始位置第二次出光位置就没有问题查看操作日志和单片曝光记录发现前一个料号报警但前一个料号又没有问题做假板测试也没有问题
建议先检查一下显影液是否需要更换或者调整浓度,以及显影时间是否充分。另外,也可以检查一下光刻机的光源是否正常,是否需要更换或者清洁。如果以上问题都排除,可以考虑检查一下光刻胶的质量,是否存在变质或者过期等问题。如果还是无法解决问题,建议联系设备厂商或者专业维修人员进行检修。
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