为什么AIN薄膜的SAW传感器温度升高频率降低

这是因为AIN薄膜的SAW传感器是基于声表面波（SAW）的工作原理，当温度升高时，AIN薄膜的声速会降低，导致SAW传播速度变慢，从而导致频率降低。这种现象被称为温度漂移。因此，为了减小温度漂移的影响，需要对SAW传感器进行温度补偿或选择温度稳定的材料制备薄膜。

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