磁控溅射靶材致密度越高越好吗

磁控溅射靶材致密度越高，通常意味着其材料结构更加致密，晶粒更小，因此具有更高的密度和更好的物理性能。高密度的靶材通常具有更高的热导率和更好的耐热性能，因此可以更有效地抵抗高温和高能量的热损伤。此外，高密度的靶材还可以提高磁控溅射过程的效率和稳定性，从而得到更高质量的薄膜。因此，从磁控溅射过程和薄膜质量的角度来看，致密度越高的靶材通常更好。