液体电容式倾角仪可在低成本下实现0°~ 360°的全范围测量的流体运动测斜仪但其精度为01°；三轴陀螺仪测量平台在三个轴向的角速度通过积分可得到平台倾斜变化量精度可达001°以上两种可确定倾斜方向的测量手段均不满足高精度装调系统的需求。目前高精度稳定性高的倾斜测量手段有基于倾斜传感器的测量方法、基于激光干涉仪测量倾斜传感器测量多用光纤倾斜传感器实现倾角的高分辨率动态实时测量精度高、抗干扰能力强但是

为了满足高精度装调系统对倾斜测量的需求，传统的液体电容式倾角仪和三轴陀螺仪测量平台已经无法满足要求。目前，基于倾斜传感器和激光干涉仪的测量方法成为了高精度稳定性高的测量手段。然而，这些方法都存在测量复杂、无法判断平台倾斜方位等问题。为解决这些问题，本文设计了一种基于计算全息干涉测量原理的测量系统，能够实时高精度测量微小倾斜量并判断倾斜方位。