LIHAM驱动的可重构微元结构的详细制备步骤
扩展数据图1显示了LIHAM驱动的可重构微元结构的详细制备步骤,包括三个步骤:(1)基于二光子聚合(2PP)的光刻技术在玻璃基板上制备光刻胶(Nanoscribe, GmbH)。值得注意的是,在打印之前应实施自动基板校准,以确保均匀的打印过程和可重复的样品制备和驱动。在不同溶剂(去离子水、丙酮和2-丙醇用于明胶、DEGRAD INX N100和IP-S光刻胶)中进行显影后,玻璃基板上的微元结构被制造出来。(2)使用涂有紫外光固化胶的聚苯乙烯球作为间隔物,在微元结构上方组装了一个毛细管装置。为了减小微元结构对LIHAM变形行为的影响,制备了大尺寸的间隔物(球直径为214μm,MicroParticles GmbH)。然后,将预先制备的水凝胶前体物浸入到毛细管装置中,随后进行15分钟的紫外光照射。(3)一旦毛细管装置的盖玻璃被移除,带有嵌入的微元结构的LIHAM基质被封闭在一个填满去离子水的聚二甲基硅氧烷(PDMS)腔室内。随后,在这个水环境中进行驱动过程。在任何测量之前,将嵌入了微元结构的LIHAM基质加热到50°C,帮助其自发地从玻璃基板上脱离并释放出来以供进一步研究(Supplementary Fig. 17)。
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