芯启源股东名单：智能制造产业基金、国家集成电路产业投资基金等

根据公开信息，芯启源的股东包括但不限于以下机构和个人：

1. 智能制造产业基金
2. 国家集成电路产业投资基金
3. 中国证券金融股份有限公司
4. 中国联通通信有限公司
5. 深圳市国民投资控股有限公司
6. 深圳市投资控股有限公司
7. 深圳市兴业投资控股有限公司
8. 深圳市工业投资控股有限公司
9. 深圳市创新投资集团有限公司
10. 深圳市光明新区投资控股有限公司
11. 深圳市前海开源投资基金管理有限公司
12. 深圳市高新投资集团有限公司
13. 深圳市科技创新投资集团有限公司
14. 深圳市高新投资投资有限公司
15. 深圳市科技创新投资发展有限公司

以上仅为部分股东，具体股东情况可能会有变动。