mems是什么意思

MEMS 是 Micro-Electro-Mechanical Systems 的缩写，指微机电系统，是一种集成微型机械、电子、光学和生物技术等多种技术的微型系统。它是利用微电子加工技术制造微型机械系统，可以将微机械结构与电子元件进行集成，从而实现微型化、集成化和智能化。MEMS 技术在传感器、计量仪器、生物医学、通讯、能源等领域得到广泛应用。