原子层沉积基底是什么

原子层沉积基底（Atomic Layer Deposition Substrate）是指用于原子层沉积技术的基板材料，常用的基底材料包括硅（Si）、氧化铝（Al2O3）、氧化钛（TiO2）、氮化硅（Si3N4）等。这些材料表面具有高度的平整性和化学稳定性，能够提供一个理想的基底表面，使得沉积的物质可以均匀地分布在表面上，从而实现精确控制的沉积。同时，基底材料的选择也会影响到沉积后的薄膜性质，因此需要根据具体应用需求选择合适的基底材料。