对以下文字降重首先往探针台中放入器件步骤如下:1确保探针已抬起以及真 空阀已关闭。2打开通气阀向样品室内充气先开启一点然后缓慢开启。3气压平衡后拧开气密螺丝取下舱盖。4放入样品放样过程中不可触碰探针。5盖好舱盖拧紧气密螺丝关闭通气阀。6打开抽真空系统。7缓慢开启一点真空阀待抽气声音变小后再缓慢开启真空阀最后完全开启。8下针先粗调后观察显微镜显示屏细调注意最后接触样品时接触上即可不可过度有机薄膜和电
操作步骤如下:1.将器件放入探针台。2.充气,取下舱盖,放入样品,盖好舱盖。3.打开抽真空系统,缓慢开启真空阀,下针并调节。4.测试结束或更换器件时,关闭真空阀,抬起探针,开启通气阀,取出样品,盖好舱盖。5.缓慢开启真空阀,抽完真空后关闭真空阀和抽真空系统。
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